空气中对人体危害较大的是细颗粒物，他们视细颗粒物为无形的杀手，有时候环境中容不得一点点的尘埃粒子，就像眼睛里容不得沙子一样。美国政府把需要控制的细颗粒物的直径从10微米以下减小到2.5微米以下，有听说还可能减小到1微米以下，把细颗粒的浓度标准规定为0.02mg/m3(PM10)、0.01 mg/m3(PM2.5)。
静电式油雾处理器的进风口直接与机床顶部收集口同轴套住，机内电机带动叶轮高速旋转产生真空，吸出机床工作腔内的油烟雾气。气流首先与具有自润作用的F4板进行高压碰撞，迫使凝集成液相。附着在板表面并且聚集成滴，滴入集油槽，形成初步过滤。过滤器采用HEPA材料，将未处理的气体经多级过滤器拦截，多次过滤后得到充分的油雾收集。净化后的空气可以排入室内循环使用，也可于机床内循环使用。而分离出来的油排入收集筒后，也可再度使用。
高效过滤（HEPA）是经典的去除颗粒物与细菌等微生物的技术，已经经过长期的工业应用考验，被称为十分安全的去除颗粒污染物的方法。在药厂、电子工厂以及医院手术室用于末端净化，以保证输送洁净、安全、卫生的空气。高效过滤（HEPA）主要过滤直径大于0.3小于1微米的亚微米级的微粒。它可以作为各种有洁净度级别要求的洁净系统的
主要的末级过滤器。其阻力损失往往会达到其他过滤器的数倍。
