冲压、磨削、钻孔、车削、机加工都会导致油雾的产生。在机加工过程中的润滑剂是一种油水混合的物质，主要起到对工件及钻头之间润滑作用及降温作用。在工作时工件及钻头产生高温软化剂被气化后产生大量油雾，是一种可吸入的空气污染物质，悬浮在空气中的颗粒非常小，一般其尺寸小于5μm。在空气中漂浮逐渐冷却及凝结。有害于健康的气态和颗粒状态物质(包含气体、油雾、灰尘等)统称为有害物质。由焊接及相关工艺过程中产生的有害物质的存在形式有气态和颗粒状态两种，颗粒状态物质以微小的固体颗粒弥散在空气中。
工业CNC车床油雾分离净化器采用的是静电处理法。 它的原理是电场在外加高压的作用下，油烟废气通过这个高压电场时，油烟粒子在极短的时间内因碰撞俘获气体离子而导致荷电，受电场力作用向正极集尘板运动，从而达到油烟分离效果。这种方法的成本较低，除烟效率高，而且无二次污染，是新型的油烟油雾处理技术，使用范围逐渐扩大，并得到市场的认可。
当油雾被前端的收集风口进入油雾净化器的前端即低温等离子净化区，在电晕放电作用下生成高密度的正负离子，同时，在电离区，高能的粒子还发生一定程度的化学氧化反应，油雾中的烃类粒子在电离过程中被氧化分解，带不同电荷的油雾颗粒通过电场时，由于异性相吸引的原理，颗粒会合并会聚成为大粒径的油雾团，并沉降，同时带正电的粒子会向电场的负极运动，而带负电的粒子会向正极运动，这一运动速度与粒子荷电的强度和电场的强度有关系，由于电场的强度是可调的。通过净化处理后达到无污染危害，可以使用在各种工业加工生产设备上。
