随着经济技术的飞速发展，作为工业基础的机械加工业也随之迅速发展，机械加工过程中油类物质有各种作用，特别是进行高速和切削量大的工艺加工时产生的大量油雾及烟气，对环境和工作人员的健康造成极大的危害。
当油雾被前端的收集风口进入油雾净化器的前端即低温等离子净化区，在电晕放电作用下生成高密度的正负离子，同时，在电离区，高能的粒子还发生一定程度的化学氧化反应，油雾中的烃类粒子在电离过程中被氧化分解，带不同电荷的油雾颗粒通过电场时，由于异性相吸引的原理，颗粒会合并会聚成为大粒径的油雾团，并沉降，同时带正电的粒子会向电场的负极运动，而带负电的粒子会向正极运动，这一运动速度与粒子荷电的强度和电场的强度有关系，由于电场的强度是可调的，因此，适当的电场强度可以使净化效率高而能耗最低，带电的颗料被电极板捕捉，吸附在电极板上的油雾在重力作用下，成为流动的液态油污流入到收集槽中。进入后端的油雾将通过结构复杂的收集板，大面积的收集板将捕捉初级静化的更小粒径的油雾，从而使得洁净空气从净化器的尾端排出。
工业油雾净化装置可应用于CNC数控车床、清洗机、雕刻机、外圆、平面 磨床、轴承沟道磨、螺纹磨、滚齿、铣床和插齿机床、真空泵、电火花加工、数控加工中心等。
